Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Emmanuelle Vernay : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://in2p3.hal.science/in2p3-00849420
Soumis le : mercredi 31 juillet 2013-08:14:55
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:57:28
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : in2p3-00849420 , version 1
Citer
P. Baele, T.L. Phan, A. Todoran, C. Prahoveanu, A. Lacoste. Elementary microwave plasma sources with extended operating parameters: concept, design and performance. Examples of applications in the very low and low pressure range. 16th International Conference on Plasma Physics and Applications (CPPA2013), Jun 2013, Bucharest, Romania. ⟨in2p3-00849420⟩
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