Antimony dopant redistribution during copper silicide formation - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules
Article Dans Une Revue International Journal of Inorganic Materials Année : 2001

Antimony dopant redistribution during copper silicide formation

M. Benkerri
  • Fonction : Auteur
R. Halimi
  • Fonction : Auteur
A. Bouabellou
  • Fonction : Auteur
A. Mosser
  • Fonction : Auteur
J.P. Sens
  • Fonction : Auteur
Institut de Recherches Subatomiques

Domaines

Chimie-Physique [physics.chem-ph]

Yvette Heyd  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://in2p3.hal.science/in2p3-00020051

Soumis le : jeudi 10 juillet 2003-14:46:49

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:11

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00020051 , version 1 (10-07-2003)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00020051 , version 1

Citer

M. Benkerri, R. Halimi, A. Bouabellou, A. Mosser, J.P. Sens. Antimony dopant redistribution during copper silicide formation. International Journal of Inorganic Materials, 2001, 3, pp.1299-1301. ⟨in2p3-00020051⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

IN2P3 CNRS CGE SITE-ALSACE
3 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More