Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 1993

Large diffusion length enhancement in silicon by rapid thermal codiffusion of phosphorous and aluminium

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Dates et versions

in2p3-00015779 , version 1 (25-05-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00015779 , version 1

Citer

B. Hartiti, A. Slaoui, J.C. Muller, P. Siffert. Large diffusion length enhancement in silicon by rapid thermal codiffusion of phosphorous and aluminium. Applied Physics Letters, 1993, 63, pp.1249-1251. ⟨in2p3-00015779⟩
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