Sio$_2$-ta$_2o_5$ sputtering yields : simulated and experimental results - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules
Article Dans Une Revue Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Année : 1995

Sio$_2$-ta$_2o_5$ sputtering yields : simulated and experimental results

Domaines

Cosmologie et astrophysique extra-galactique [astro-ph.CO]

Sylvie Flores  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://in2p3.hal.science/in2p3-00012956

Soumis le : mardi 9 février 1999-10:13:35

Dernière modification le : lundi 23 septembre 2024-09:22:24

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00012956 , version 1 (09-02-1999)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00012956 , version 1

Citer

E. Vireton, P. Ganau, J.-M. Mackowski, Christine Michel, L. Pinard, et al.. Sio$_2$-ta$_2o_5$ sputtering yields : simulated and experimental results. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 1995, 95, pp.34-40. ⟨in2p3-00012956⟩

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