Article Dans Une Revue
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
Année : 1980
Jocelyne Lorgeril : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://in2p3.hal.science/in2p3-00003832
Soumis le : jeudi 13 janvier 2000-16:00:23
Dernière modification le : lundi 23 septembre 2024-10:56:17
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : in2p3-00003832 , version 1
Citer
J. Camplan, J. Chaumont, R. Meunier, R. Graber, J.C. Rouge, et al.. A high current ion implanter with hybrid scanning. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 1980, 171, pp.245-250. ⟨in2p3-00003832⟩
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