Article Dans Une Revue Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Année : 1980
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Dates et versions

in2p3-00003832 , version 1 (13-01-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00003832 , version 1

Citer

J. Camplan, J. Chaumont, R. Meunier, R. Graber, J.C. Rouge, et al.. A high current ion implanter with hybrid scanning. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 1980, 171, pp.245-250. ⟨in2p3-00003832⟩
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