Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
Emmanuelle Vernay : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://in2p3.hal.science/in2p3-01541651
Soumis le : lundi 19 juin 2017-13:06:33
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:52:35
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : in2p3-01541651 , version 1
Citer
A. Lacoste, P. Baele, A. Martin Ortega, A. Bes, Stéphane Béchu. Elementary microwave plasma sources with extended operating parameters (from low to high- pressures) for large area deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. ⟨in2p3-01541651⟩
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