Poster De Conférence
Année : 2017
Emmanuelle Vernay : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://in2p3.hal.science/in2p3-01541647
Soumis le : lundi 19 juin 2017-13:02:06
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:29:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : in2p3-01541647 , version 1
Citer
A. Martin Ortega, A. Bes, Stéphane Béchu, A. Lacoste. Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. . ⟨in2p3-01541647⟩
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