Trends to a semi-empirical model for cluster induced metal sputtering - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules
Article Dans Une Revue Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Année : 2004

Trends to a semi-empirical model for cluster induced metal sputtering

A. Brunelle
S. Della-Negra
  • Fonction : Auteur
Institut de Physique Nucléaire d'Orsay

Domaines

Physique Nucléaire Expérimentale [nucl-ex]

Suzanne Robert  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://in2p3.hal.science/in2p3-00021962

Soumis le : lundi 21 juin 2004-14:48:53

Dernière modification le : lundi 23 septembre 2024-09:22:24

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00021962 , version 1 (21-06-2004)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00021962 , version 1

Citer

A. Brunelle, S. Della-Negra. Trends to a semi-empirical model for cluster induced metal sputtering. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2004, 222, pp.68-74. ⟨in2p3-00021962⟩

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