Contribution a l'etude des dommages induits par les ions lourds de grande energie dans les films d'oxyde de silicium thermique - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules
Theses Year : 1992

Contribution a l'etude des dommages induits par les ions lourds de grande energie dans les films d'oxyde de silicium thermique

M.C. Busch
  • Function : Author
Institut de Recherches Subatomiques

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https://in2p3.hal.science/in2p3-00019141

Submitted on : Monday, February 26, 2001-7:53:08 AM

Last modification on : Thursday, April 11, 2024-1:18:11 PM

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in2p3-00019141 , version 1 (26-02-2001)

Identifiers

  • HAL Id : in2p3-00019141 , version 1

Cite

M.C. Busch. Contribution a l'etude des dommages induits par les ions lourds de grande energie dans les films d'oxyde de silicium thermique. Université Louis Pasteur - Strasbourg I, 1992. English. ⟨NNT : ⟩. ⟨in2p3-00019141⟩

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