Gold gettering induced by rapid thermal doping using spin-on sources - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 1991

Gold gettering induced by rapid thermal doping using spin-on sources

B. Hartiti
  • Fonction : Auteur
J.C. Muller
  • Fonction : Auteur
Institut de Recherches Subatomiques
P. Siffert
  • Fonction : Auteur
Institut de Recherches Subatomiques

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https://in2p3.hal.science/in2p3-00015909

Soumis le : mercredi 31 mai 2000-14:00:35

Dernière modification le : mercredi 24 avril 2024-11:28:54

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00015909 , version 1 (31-05-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00015909 , version 1

Citer

B. Hartiti, J.C. Muller, P. Siffert. Gold gettering induced by rapid thermal doping using spin-on sources. Applied Physics Letters, 1991, 59, pp.425-427. ⟨in2p3-00015909⟩

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