Gold and platinium accumulation on buried defects in silicon - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules
Article Dans Une Revue Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Année : 1993

Gold and platinium accumulation on buried defects in silicon

P. Rohr
  • Fonction : Auteur
Institut de Recherches Subatomiques
J.J. Grob
  • Fonction : Auteur
Institut de Recherches Subatomiques
P. Siffert
  • Fonction : Auteur
Institut de Recherches Subatomiques

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https://in2p3.hal.science/in2p3-00015775

Soumis le : jeudi 25 mai 2000-16:12:22

Dernière modification le : lundi 23 septembre 2024-09:22:24

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Dates et versions

in2p3-00015775 , version 1 (25-05-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00015775 , version 1

Citer

P. Rohr, J.J. Grob, P. Siffert. Gold and platinium accumulation on buried defects in silicon. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 1993, 80/81, pp.640-643. ⟨in2p3-00015775⟩

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