Communication Dans Un Congrès Année : 1995

Realization of Si$_{1-x-y}$Ge$_x$C$_y$/Si heterostructures by pulsed laser induced epitaxy of C$^+$ implanted pseudomorphic SiGe films and of a SiGeC:H films deposited on Si(100)

J. Boulmer
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A. Desmur-Larre
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C. Guedj
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D. Debarre
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P. Boucaud
F.H. Julien
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E. Finkman
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R. Laval
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J.B. Ozenne
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H. Yang
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D. Bouchier
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C. Godet
I Cabarrocas P. Roca
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G. Calvarin
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Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00000644 , version 1 (02-03-1999)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00000644 , version 1

Citer

J. Boulmer, A. Desmur-Larre, C. Guedj, D. Debarre, P. Boucaud, et al.. Realization of Si$_{1-x-y}$Ge$_x$C$_y$/Si heterostructures by pulsed laser induced epitaxy of C$^+$ implanted pseudomorphic SiGe films and of a SiGeC:H films deposited on Si(100). Laser-Induced Thin Film Processing, Feb 1995, San Jose, United States. pp.367-372. ⟨in2p3-00000644⟩
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